标准号：GB/T 41765-2022
标准名称：碳化硅单晶位错密度的测试方法
发布日期：2022-10-14
实施日期：2023-05-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人：彭同华、佘宗静、赵宁、王波、李素青、娄艳芳、王大军、郭钰、杨建
本文件规定了碳化硅单晶位错密度的测试方法。
本文件适用于晶面偏离{0001}面、偏向{1120}方向0°~8°的碳化硅单晶位错密度的测试。
