标准号：GB/T 12965-2005
标准名称：硅单晶切割片和研磨片
代替标准：GB/T 12965-1996
发布日期：2005-09-19
实施日期：2006-04-01
废止日期：2019-06-02
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：中国有色金属工业协会
起草单位：北京有色金属研究总院
本标准规定了硅单晶切割片和研磨片（简称硅片）的产品分类、术语、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等半导体器件，或进一步加工成抛光片。
