标准号：GB/T 1557-2006
标准名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
代替标准：GB 1557-1983、GB/T 1557-1989、GB/T 14143-1993
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
废止日期：2019-06-02
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：中国有色金属工业协会
起草单位：峨眉半导体材料厂
起草人：梁洪、覃锐兵、王炎
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω?cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω?cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从1×10的16次方at/cm3到硅中间隙氧的最大固溶度。
