标准号：GB/T 5252-2006
标准名称：锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
代替标准：GB/T 5252-1985
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：中国有色金属工业协会
起草单位：北京有色金属研究总院
起草人：余怀之、刘建平
本标准适用于位错密度0cm-2～100 0000cm-2的n型和p型锗单晶棒或片的位错密度或其他缺陷的测量．观察面为(111)(100)(113)面。
GB/T 5252-2006 锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
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