标准号：GB/T 20522-2006
标准名称：半导体器件 第14-3部分: 半导体传感器-压力传感器
发布日期：2006-08-23
实施日期：2007-02-01
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
归口单位：全国半导体器件标准化技术委员会
起草单位：中国电子技术标准化研究所
起草人：张秋、陈勤
本标准规定了测量绝压、表压和差压的半导体传感器的要求。
GB/T 20522-2006 半导体器件 第14-3部分: 半导体传感器-压力传感器
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