标准号：GB/T 25915.14-2022
标准名称：洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
起草单位：苏州安泰空气技术有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、苏州市计量测试院、中国建筑科学研究院有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、天津大学、南京工业大学、广东量化检测技术有限公司、江汉大学、河南盛川净化工程有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国标准化协会、中国合格评定国家认可中心、江苏富泰净化科技股份有限公司、中国电子工程设计院有限公司、广东省洁净技术行业协会、上海市室内环境净化行业协会、北京中邦兴业科技有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司、中科圣杰（深圳）科技集团有限公司
起草人：周斌、郝胤博、刘俊杰、赵伟、王芳、袁月、魏佳鸣、吴章勇、周建平、董学鑫、蔡佳义、钟庚、孙玉澄、冯昕、吴志坚、夏薇佳、吴振一、韩辉、胡茂从、阎冬、张正兵、夏高丰、朱正财、刘永
本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1，关注悬浮粒子粒径范围为0.1μm至大于或等于5μm。
本文件不适用于：根据微生物污染评估适用性；对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试；设备和材料的可清洁性；设备设计及材料选择的要求；材料的静电、热学等物理性能；具体工艺场合设备性能的优化；测试统计方法的选用；当地安全法规的条款和要求。
