标准号：GB/T 33523.603-2022
标准名称：产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国产品几何技术规范标准化技术委员会
起草单位：清华大学、深圳市中图仪器股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、广州计量检测技术研究院、山东大学、哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、中机研标准技术研究院（北京）有限公司
起草人：尉昊赟、闫鹏、施玉书、代鲲鹏、马俊杰、刘俭、朱悦
本文件规定了相移干涉法（PS）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。
