标准号：GB/T 3163-2007
标准名称：真空技术 术语
代替标准：GB/T 3163-1993
发布日期：2007-12-20
实施日期：2008-06-01
批准发布部门：中国机械工业联合会
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：东北大学、沈阳真空技术研究所
起草人：王学智、张世伟、王晓冬
本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。
