标准号：GB/T 17473.3-2008
标准名称：微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
代替标准：GB/T 17473.3-1998
发布日期：2008-03-31
实施日期：2008-09-01
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：贵研铂业股份有限公司
起草人：金勿毁、刘继松、李文琳
本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。
GB/T 17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
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