标准号：GB/T 42895-2023
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
发布日期：2023-08-06
实施日期：2023-12-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：北京大学、中国电子技术标准化研究院、无锡韦感半导体有限公司、南京飞恩微电子有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司
起草人：张大成、杨芳、刘鹏、高程武、李凤阳、华璇卿、张彦秀、万蔡辛、张宾、张启心、李根梓、顾枫、于志恒、王旭峰、陈艺、刘若冰、武斌、曹万
本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。
本文件适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。
