标准号：GB/T 43772-2024
标准名称：电子气体 二氧化碳
发布日期：2024-03-15
实施日期：2024-10-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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起草人：崔增涛、郭琼、兰锋、吴慧明、苏子杰、蔡金、孙福楠、廖恒易、孙猛、傅铸红、牛艳东、刘丽娜、刘清辉、郭静楠、曹小林、方强、尹爱华、徐汝峰、张孛媛、王子源、韩帅、殷昊、刘峰、石唯、何波、唐中伟、赵跃、尚柏羊、边鲁宁、胡树国、李春华、崔贺民、沈远杰、周鑫、赵洁、邵成刚、周鹏云、唐霞梅、朱明、银延蛟、胡迎、郑秋艳、林定标、陈施华、陈艳珊、金向华、禹金龙、江月军、侯鹏、钱吉、袁有录、杜大艳、黄加斗、王小波、俞俊、曹益宁、金雪光、刘尚进、张薇薇、马彬淇、方华、王见见、王云龙、黄辉、史婉君、常侠、张体强、高艳秋、宫兵、贾任远、敖科、杨扬仲夫、张艺山、王晶
本文件规定了二氧化碳的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于由高纯二氧化碳经纯化制备的电子用二氧化碳。