标准号：GB/Z 43684-2024
标准名称：纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数
发布日期：2024-03-15
实施日期：2024-10-01
批发部门：中国科学院
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位：中国计量科学研究院、清华大学、广纳四维（广东）光电科技有限公司、北京大学、苏州苏大维格科技集团股份有限公司
起草人：李伟、李适、陈林森、李晓军、施玉书、黄鹭、华鉴瑜、朱振东、李群庆、高思田、李琪、史瑞、乔文
本文件界定了以光栅特征与标称位置偏差来解释光栅的全局和局部质量参数的通用术语，并提供了测定参数所用的测量与评价方法分类的指南，以及在纳米技术的不同应用领域保证生产和使用光栅质量的指南。
本文件所定义和描述的方法适用于不同种类的光栅，但本文件重点关注一维（1D）和二维（2D）光栅，以便于纳米技术领域中涉及光栅尺寸质量参数表征的制造商、用户和校准实验室之间的使用。