标准号：GB/T 43915-2024
标准名称：纳米几何量标准样板测试方法
发布日期：2024-04-25
实施日期：2024-11-01
批发部门：中国机械工业联合会
归口单位：全国量具量仪标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、同济大学、中国计量科学研究院、中国测试技术研究院、成都工具研究所有限公司、上海市计量测试技术研究院、天津大学、广西壮族自治区计量检测研究院、苏州天准科技股份有限公司
起草人：吴爱华、付兴昌、邹学锋、韩志国、冯亚南、梁法国、朱振宇、李强、傅云霞、曾艳华、刘庆纲、张恒、冉庆、曹葵康、李锁印、许晓青、赵琳、张晓东、许刚、何宜鲜、万宇、雷李华、管钰晴、邓晓、施玉书、苏翼雄
本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。
本文件适用于线间隔为50nm~100nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20nm~100nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10nm^-100nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2nm~100nm的纳米膜厚标准样板的测试。