标准号：GB/T 43965-2024
标准名称：电子级正硅酸乙酯
发布日期：2024-04-25
实施日期：2024-11-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：金宏气体股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、南大光电半导体材料有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、浙江开化合成材料有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、内蒙古兴洋科技股份有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司
起草人：孙猛、金向华、李楷东、吴怡然、陶刚义、孙明璐、向冲、王成、张园园、郭树虎、何珂、李冲合、张明英、赵俊莎、肖俊平、曹可慰、赵斌、陈德义、冯琼华、黄天次、万烨、戈士勇、戈烨铭、甘俊、陈道伟
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酉旨的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求，描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。
本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。