标准号：GB/T 43661-2024
标准名称：表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准
发布日期：2024-03-15
实施日期：2024-10-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：中山大学、暨南大学、广东工业大学
起草人：龚力、杨慕紫、谢伟广、谢方艳、陈瑜、张浩、丁喜冬、陈建
本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（scanning capacitance microscope，SCM）或扫描扩展电阻显微镜（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。