标准号：GB/T 44390-2024
标准名称：打印显示 薄膜均匀性测试方法
发布日期：2024-08-23
实施日期：2025-03-01
批发部门：国家标准委
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：京东方科技集团股份有限公司、北京鼎材科技有限公司、合肥京东方卓印科技有限公司、TCL华星光电技术有限公司、广东东溢新材料科技有限公司、深圳御光新材料有限公司、绍兴旭源新材料科技有限公司、奥来德（上海）光电材料科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥鼎材科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、广东聚华印刷显示技术有限公司、衢州英特高分子材料有限公司
起草人：张志刚、杨京龙、马晓宇、代青、施槐庭、黄瑜、赵俊莎、汪康、乔娟、高文正、周辉、陈建平、黄卫东、朱龙山、李新国、徐晓光、毕岩、孙力、曹可慰、吴怡然、王铁、包金豹、戈烨铭、何珂、付东、余磊、袁鹏、王霞
本文件描述了打印显示薄膜均匀性的测试方法，主要包括子像素均匀性、相邻子像素均匀性、短程均匀性测试方法。
本文件适用于使用探针式表面轮廓仪（以下称台阶仪）和白光干涉仪对厚度范围为5nm~105nm的打印显示薄膜均匀性的测试。