标准号：GB/T 23414-2009
标准名称：微束分析 扫描电子显微术 术语
发布日期：2009-04-01
实施日期：2009-12-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人：李香庭、曾毅
本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，本标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。
