标准号：GB/T 23611-2009
标准名称：金靶材
发布日期：2009-04-15
实施日期：2010-02-01
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京达博有色金属焊料有限责任公司
起草人：闫琳、江轩、吕保国
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。
标准号：GB/T 23611-2009
标准名称：金靶材
发布日期：2009-04-15
实施日期：2010-02-01
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京达博有色金属焊料有限责任公司
起草人：闫琳、江轩、吕保国
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。
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