标准号：GB/T 9506.1-1988
标准名称：吸气剂性能测试方法通则
发布日期：1988-06-25
实施日期：1988-12-01
废止日期：2017-12-15
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：南京工学院
本标准规定了吸气剂性能测试中必须共同遵守的测试条件、辅助工艺规程以及对主要测试设备的要求，适用于吸气剂产品性能的测试。
GB/T 9506.1-1988 吸气剂性能测试方法通则
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