标准号：GB/T 9506.6-1988
标准名称：掺氮吸气剂钡膜分布测试方法
发布日期：1988-06-25
实施日期：1988-12-01
废止日期：2011-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：电子部741厂
GB/T 9506.6-1988 掺氮吸气剂钡膜分布测试方法
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