标准号：GB/T 6617-2009
标准名称：硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
代替标准：GB/T 6617-1995
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司、宁波立立电子股份有限公司
起草人：马林宝、骆红、吕立平、刘培东、谭卫东
u3000u3000本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。 u3000u3000本标准适用于测量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量衬底同型或反型的硅片外延层的电阻率，测量范围:10 Ωcm～10 Ω·cm。
