GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

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标准号:GB/T 24577-2009

标准名称:热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

发布日期:2009-10-30

实施日期:2010-06-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人:王奕、褚连青、李静

本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。

GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

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