标准号:GB/T 1553-2009
标准名称:硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
代替标准:GB/T 1553-1997
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:峨嵋半导体材料厂
起草人:江莉、杨旭
u3000u30001.1 本标准规定了硅和锗单晶体内少数载流子寿命的测量方法。本标准适用于非本征硅和锗单晶体内载流子复合过程中非平衡少数载流子寿命的测量。
标准号:GB/T 1553-2009
标准名称:硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
代替标准:GB/T 1553-1997
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:峨嵋半导体材料厂
起草人:江莉、杨旭
u3000u30001.1 本标准规定了硅和锗单晶体内少数载流子寿命的测量方法。本标准适用于非本征硅和锗单晶体内载流子复合过程中非平衡少数载流子寿命的测量。
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