标准号:GB/T 25496-2010
标准名称:吸气剂机械性能测试方法
代替标准:GB/T 9506.9-1988、GB/T 6626.4-1986、GB/T 9506.10-1988、GB/T 9506.11-1988
发布日期:2010-12-01
实施日期:2011-05-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:南京华东赛斯真空材料有限公司、中国电子科技集团第十二研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究所
起草人:薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠
本标准规定了吸气剂装载量、吸气剂压制或烧结固度、吸气剂载体与支架焊接强度、吸气剂压制密度均匀性等吸气剂机械性能测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。