标准号：GB/T 26113-2010
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中机生产力促进中心、天津大学、西安交通大学、中原工学院
起草人：丁红宇、张苹、景蔚萱、刘伟、蒋庄德
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
