标准号:GB/T 8756-1988
标准名称:锗晶体缺陷图谱
发布日期:1988-02-25
实施日期:1989-02-01
废止日期:2019-07-02
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:北京有色金属研究总院
本标准规定了锗多晶、锗单晶制备和机械加工工艺过程中所产生的各类缺陷的形貌。本标准适用于锗多晶、锗单晶、锗研磨片和抛光镜片的生产和研究。锗二极管、晶体管和红外窗口的制造亦可参照使用。
标准号:GB/T 8756-1988
标准名称:锗晶体缺陷图谱
发布日期:1988-02-25
实施日期:1989-02-01
废止日期:2019-07-02
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:北京有色金属研究总院
本标准规定了锗多晶、锗单晶制备和机械加工工艺过程中所产生的各类缺陷的形貌。本标准适用于锗多晶、锗单晶、锗研磨片和抛光镜片的生产和研究。锗二极管、晶体管和红外窗口的制造亦可参照使用。
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