标准号：GB/T 27760-2011
标准名称：利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
发布日期：2011-12-30
实施日期：2012-05-01
批准发布部门：中国科学院
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位：国家纳米科学中心
起草人：朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。 本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。 本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
