标准号：GB/T 28276-2012
标准名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
发布日期：2012-05-11
实施日期：2012-12-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团第十三研究所、北京大学、中机生产力促进中心、中国科学院上海微系统与信息技术研究所
起草人：崔波、罗蓉、熊斌、陈海蓉、刘伟、张大成
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
