标准号：GB/T 28632-2012
标准名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
发布日期：2012-07-31
实施日期：2013-02-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人：徐建、陆敏、辛立辉、何丹农、吴立敏、朱丽娜、张冰
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
