标准号：GB/T 29190-2012
标准名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法
发布日期：2012-12-31
实施日期：2013-06-01
批准发布部门：中国科学院
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位：中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院
起草人：黄文浩、陈宇航、褚家如、李家文、李源、傅云霞
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
