标准号：GB/T 29493.6-2013
标准名称：纺织染整助剂中有害物质的测定 第6部分：聚氨酯预聚物中异氰酸酯基含量的测定
发布日期：2013-07-19
实施日期：2013-12-01
批准发布部门：中国石油和化学工业联合会
归口单位：全国染料标准化技术委员会
起草单位：杭州传化精细化工有限公司、东华大学、浙江传化股份有限公司
起草人：赵婷、查刘生、罗巨涛、赵立慧、曾凡文
本标准提供了硅片表面粗糙度测量常用的轮廓仪、干涉仪、散射仪三类方法的测量原理、测量设备和程序,并规定了硅片表面局部或整个区域的标准扫描位置图形及粗糙度缩写定义。本标准适用于平坦硅片表面的粗糙度测量,也可用于其他类型的平坦晶片材料,但不适用于晶片边缘区域的粗糙度测量。本标准不适用于带宽空间波长≤10 nm的测量仪器。
