标准号：GB/T 29557-2013
标准名称：表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
发布日期：2013-07-19
实施日期：2014-03-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：中山大学、中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学
起草人：陈建、张训生、张卫红、盛世善、谢方艳、龚力
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。
GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
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