GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

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标准号:GB/T 29557-2013

标准名称:表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

发布日期:2013-07-19

实施日期:2014-03-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

起草单位:中山大学、中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学

起草人:陈建、张训生、张卫红、盛世善、谢方艳、龚力

本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

GB/T 29557-2013 表面化学分析  深度剖析  溅射深度测量

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