标准号：GB/T 30705-2014
标准名称：微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则
发布日期：2014-03-27
实施日期：2014-12-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人：曾毅、李香庭、吴伟
本标准规定了进行电子探针分析时的入射电子束、波谱仪和试样的实验参数测定的一般原则，并规定了束流、束流密度、死时间、波长分辨率、背底、分析面积、分析深度和分析体积的测定过程。 本标准适用于垂直入射电子束对抛光试样的分析，对于其他实验条件，这些实验参数只能作为参考。 本标准不适用于能谱法。
