标准号:GB/T 28634-2012
标准名称:微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析
发布日期:2012-07-31
实施日期:2013-02-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
起草单位:中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人:曾毅、李香庭、吴伟
本标准规定了应用电子探针或者扫描电镜(SEM)的波谱仪(WDS),通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样徽米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。内容包括:定量分析原理;本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围;仪器的一般要求;有关试样制备、实验条件的选择、分析测量等的基本过程及报告。本标准适用于电子束垂直入射,要求定量分析的块状试样表面平滑、均匀。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者应该从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器说明书。