标准号：GB/T 30901-2014
标准名称：高纯氟化铵溶液
发布日期：2014-07-08
实施日期：2014-12-01
批准发布部门：中国石油和化学工业联合会
归口单位：全国化学标准化技术委员会
起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、中海油天津化工研究设计院等、福建省邵武市永飞化工有限公司、巨化集团技术中心
起草人：田志扬、赵晓亚、张红英、周鹏鹏、万群平、林益兴
本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。
