标准号：GB/T 30856-2014
标准名称：LED外延芯片用砷化镓衬底
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-04-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国科学院半导体研究所、云南中科鑫圆晶体材料有限公司、有研光电新材料有限公司
起草人：赵有文、提刘旺、惠峰、赵坚强、林泉、于洪国
本标准规定了LED外延芯片用砷化镓单晶衬底片(以下简称衬底)的要求、检验方法和规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于LED外延芯片用的砷化镓单晶衬底。
