GB/T 10067.410-2014 电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉

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标准号:GB/T 10067.410-2014

标准名称:电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉

发布日期:2014-12-05

实施日期:2015-04-16

批准发布部门:中国电器工业协会

归口单位:全国工业电热设备标准化技术委员会

起草单位:西安电炉研究所有限公司、西安理工晶科股份有限公司、国家电炉质量监督检验中心、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、陕西省电炉工程技术研究中心

起草人:陈巨才、李留臣、朱琳、袁芳兰、束天和

GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。

GB/T 10067.410-2014 电热装置基本技术条件  第410部分:单晶炉

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