GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

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标准号:GB/T 30654-2014

标准名称:Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

发布日期:2014-12-31

实施日期:2015-09-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:中国科学院半导体研究所

起草人:孙宝娟、赵丽霞、李晋闽、王军喜、曾一平

本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。本标准适用于在氧化物衬底(A120、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga,In,A1)N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。

GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

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