标准号:GB/T 30654-2014
标准名称:Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
发布日期:2014-12-31
实施日期:2015-09-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:中国科学院半导体研究所
起草人:孙宝娟、赵丽霞、李晋闽、王军喜、曾一平
本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。本标准适用于在氧化物衬底(A120、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga,In,A1)N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。