标准号：GB/T 31563-2015
标准名称：金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
批准发布部门：中国机械工业联合会
归口单位：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
起草单位：武汉材料保护研究所、株洲钻石硬质合金厂、重庆市计量质量检测研究院、深圳市发斯特精密技术有限公司、清华大学、西安西电高压开关有限公司、东莞市五株电子科技有限公司
起草人：李健、邵天敏、陈利、马博、段海涛、刘秀生
本标准规定了通过扫描电子显微镜(SEM)检测金属试样横截面局部厚度的方式测量金属涂层厚度的方法。它通常是一种破坏性的检测方式,不确定度小于10%,或者0.1μm。该测量方法也可以用 来测量几个毫米厚的涂层,但是对于这类厚涂层建议采用光学显微镜法(GB/T6462)进行测量。
