标准号：GB/T 31472-2015
标准名称：X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、苏州晶瑞化学有限公司、中国电子技术标准化研究院、天津中环领先材料技术有限公司
起草人：李雨辰、何秀坤、李翔、刘筠、刘兵
本标准规定了X射线光电子能谱（XPS）的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术，不适用于其他电子激发系统。
