标准号：GB/T 32188-2015
标准名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院物理研究所、丹东新东方晶体仪器有限公司、苏州纳维科技有限公司、北京天科合达蓝光半导体有限公司
起草人：邱永鑫、任国强、王建峰、陈小龙、徐科、赵松彬、刘争晖、曾雄辉、王文军、郑红军
本标准规定了利用双晶 X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
