标准号：GB/T 32282-2015
标准名称：氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司
起草人：曾雄辉、张燚、刘争晖、邱永鑫、董晓鸣、牛牧童、王建峰、徐科
本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。 本标准适用于位错密度在110^3 个/cm2~510^8 个/cm2 之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。
