标准号：GB/T 32650-2016
标准名称：电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素
发布日期：2016-04-25
实施日期：2016-11-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、中国电子技术标准化研究院、江苏太平洋石英股份有限公司
起草人：李运强、薄雷明、许振午、武为民、冯亚彬、管琪、周文梅
本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素的测定方法。本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素含量的测定。其他元素含量的测定可参照本标准执行。
