标准号：GB/T 11297.6-1989
标准名称：锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法
发布日期：1989-03-31
实施日期：1990-01-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：电子十一所
本方法采用硝酸-氢氟酸腐蚀剂腐蚀，适用于锑化铟原始晶片（111）铟面a位错的显示和测定。测量面偏离（111）面应不大于3°。
GB/T 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法
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