标准号：GB/T 34971-2017
标准名称：半导体制造用气体处理指南
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-02-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司
起草人：孙福楠、牛艳东、王鸿、方华、廖恒易、杜汉盛、陈鹰、周鹏云
本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。
本标准适用于半导体制造用气体的处理。
