标准号：GB/T 32817-2016
标准名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中机生产力促进中心、中北大学、大连理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学
起草人：李海斌、崔波、裘安萍、施芹、刘伟、石云波、杨拥军、刘冲
本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。 本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。 u3000u3000
