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GB/T 33838-2017 微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法

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标准号:GB/T 33838-2017

标准名称:微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法

发布日期:2017-05-31

实施日期:2018-04-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

起草单位:中国科学技术大学物理学院

起草人:丁泽军、阮瞩

本标准规定了用于评估扫描电子显微镜(SEM)生成的数字图像锐度的3种方法:傅立叶变换(FT)法、衬度一梯度(CG)法、导数(DR)法。

GB/T 33838-2017 微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法

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