标准号:GB/T 35315-2017
标准名称:LED行业用氨气处理指南
发布日期:2017-12-29
实施日期:2018-04-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:苏州金宏气体股份有限公司、高麦仪器公司、东莞市技顶电子科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司
起草人:孙猛、金向华、杜汉盛、张晓东、周鹏云、牛艳东、傅铸红、郭秀丽、方华
本标准规定了用水吸收法处理LED行业用氨气尾气的技术要求。
本标准适用于LED行业用氨气尾气的处理。