标准号：GB/T 35310-2017
标准名称：200mm硅外延片
发布日期：2017-12-29
实施日期：2018-07-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人：马林宝、骆红、杨素心、杨帆、金龙
本标准规定了直径200mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。
本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。
