标准号：GB/T 35158-2017
标准名称：俄歇电子能谱仪检定方法
发布日期：2017-12-29
实施日期：2018-11-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：厦门大学、清华大学
起草人：姚文清、岑丹霞、刘芬、王水菊、张增明、徐建
本标准规定了俄歇电子能谱仪（Auger electron spectrometer）的检定方法。
本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法
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